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可编程匀胶机HC220PE
HC220PE高精度匀胶机,采用高级PLC 模块,工业级伺服电机,全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
HCV300无油真空泵
HCV300无油真空泵具有高效节能、安全环保、运行平稳、低噪音、高可靠性、长寿命、低温升、体积小、重量轻、外形美观、结构简单、完全无油易维护等特点。
HCV400隔膜真空泵
HCV400隔膜真空泵,极限真空压力大于0.08MPa,抽气速度达20L/min,电机功率160W,是一款使用效率高,使用寿命长,耐腐蚀程度高,设计新颖的无油真空泵。
自动点胶系统
HCDJS200蠕动泵式点胶系统采用外控方式进行蠕动精确液体传输,流量型智能蠕动泵的传输速度范围在:0.006-1340毫升/分钟。采用彩色液晶和触屏控制技术,适于精准液体流量传输,最高精度可达0.5%。
常规圆形载物盘
推荐用于标准厚度、圆形基板和工件。
嵌入式方形载物盘
用于方形和矩形基板的真空吸附载物盘。
多孔材料载物盘
对于较薄的基板(<250μm厚),我们开发了一种多孔陶瓷嵌件设计,该设计具有完全支撑任何给定基板尺寸背面的显著优势。
对中装置
辅助基片对中,以获得更好的旋涂制膜效果。
残余应力测试系统
透明的玻璃/石英器件、注塑器件、手机膜、SiC晶圆等试件内部残余应力的测试。
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