Apogee 450匀胶显影机以高效、节省空间的设计，提供具有革命性接口功能和最大化学兼容性能。高功率伺服电机系统结合了极其精确的转速控制和高扭矩驱动，实现了强劲的加速度。适用于300 mm以上的晶圆片和高达14“×14”的LCD正方形样品。

产品特点

l 紧凑的设计，最大限度地减少占地面积

l 全彩色7英寸触摸屏显示屏

l 驱动系统（间接）具有同类中最高的马力

l 增强的盖提升辅助功能（气弹簧打开≥ 45°)

l 耐用的工作台设计，也可采用法兰/甲板安装配置

l 数据流™ 技术

l 可选的X-PRO工作站集成了独立机柜和上部排气外壳，用于过程烟气控制。

内腔设计：

l 高密度聚乙烯（HDPE）旋转碗

l 可选的封闭式和开放式盖子设计，实现了工艺灵活性

l 直接扇形喷射、侧角水坑和气流分配选项

l 集成排放口和排气口

l 可选自动氮气吹扫喷嘴

l 可选自动排放分离器（溶剂/水）

技术参数：

l 触摸屏界面和显示器

l 支持全彩色字母数字的图形用户界面（GUI）

l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限

l 步进时间的分辨率为0.1秒（最大步进时间为9999.9秒）

l 旋转速度：6000 rpm

l 旋转速度加速：

n 0至30000 rpm/s空载

n 0至23000 rpm/s，使用300 mm基板

n 0至3000 rpm/s，带350mm x 6mm圆槽旋转卡盘

n 0至400 rpm/s，在嵌入式旋转夹头中使用14”×14”×1.1 mm光罩

l 双向速度控制/摆动卡盘

l 连接：USB/以太网端口，用于上传/下载带有数据流的过程参数™ 技术

l 同步、自动化、多点分发功能

精确

l 转速重复性：<0.2 rpm

l 转速分辨率：<0.2 rpm

l 基底尺寸：圆形小于1厘米至450毫米；14英寸x 14英寸正方形

可靠性

l 间接驱动系统保护旋转电机不接触工艺化学品和溶剂

l 真空和盖联锁

l 业界领先的可靠性和正常运行时间

l 零件和人工的1年全面保修

l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持（电话、电子邮件）

l 产品生命周期的应用过程协助

了解更多产品资料，请联系Helicoater工作人员,400 860 1856。