产品特点：

l 紧凑的设计，最大限度地减少占地面积

l 全彩色7英寸触摸屏显示屏

l 高密度聚乙烯（HDPE）旋转碗，实现最大的化学兼容性

l 耐用的工作台设计，也可采用法兰/甲板安装配置

l DataStream™ 技术

l 90°直角连续喷嘴或45°侧角喷嘴

l 扩展开发能力

内腔设计：

l 高密度聚乙烯（HDPE）旋转碗

l 可选氮气吹扫，以实现更高效的干燥

l 集成排放口和排气口

技术参数：

l 触摸屏界面和显示器

l 支持全彩色字母数字的图形用户界面（GUI）

l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限

l 步进时间的分辨率为0.1秒（最大步进时间为9999.9秒）

l 旋转速度：12000 rpm

l 旋转速度加速：

n 0至30000 rpm/s卸载

n 0至23000 rpm/s，200 mm基板

n 0至3000 rpm/s，6英寸×6英寸×0.250英寸光罩凹形卡盘

l 连接：USB/以太网端口，用于通过数据流上传/下载过程参数™ 技术

l 同步、自动化、多配送能力

设备精度：

l 转速重复性：<0.2 rpm

l 转速分辨率：<0.2 rpm

l 基底尺寸：圆形小于1厘米至200毫米；7英寸x 7英寸正方形

可靠性

l 间接驱动系统保护旋转电机不接触工艺化学品和溶剂

l 真空和盖联锁

l 业界领先的可靠性和正常运行时间

l 零件和人工的1年全面保修

l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持（电话、电子邮件、传真）

l 产品生命周期的应用过程协助

了解更多产品资料，请联系Helicoater 工作人员,400 860 1856。