产品特点：

l 紧凑的设计，最大限度地减少占地面积

l 全彩色7英寸触摸屏显示屏

l 耐用的工作台设计，也可采用法兰/甲板安装配置

l 增强的日志记录

l 冷触式排气罩

l 用于可编程高度控制的顶针

l 可调排气门

l DataStream™技术

烤罩设计：

l 全不锈钢结构

l 独特的双层设计可降低外部发动机罩温度

l 用于清除工艺化学品的排气罩

l 惰性烘烤环境的可选氮气吹扫

技术参数：

l 触摸屏界面和显示器

l 支持全彩色字母数字的图形用户界面（GUI）

l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限

l 步进时间的分辨率为0.1-s，范围为0至9999.9 s/步

l 几乎无限制的配方存储

l 四种自动烘焙方法：接触、真空、接近和顶针

l 100毫米、150毫米、200毫米和300毫米晶圆的烘烤板自动尺寸

l 温度数据记录

l 顶针可编程，增量为0.1mm，总范围为0-19 mm

l 连接：USB/以太网端口，用于通过数据流上传/下载过程参数™ 技术

精确

l 基板尺寸：最大300mm圆形；12英寸（304.8mm）方形基板

l 温度分辨率：0.1°C

l 温度范围：环境温度至300°C（400°C可选）

l 工作表面温度均匀性：0.3%

可靠性

l 卓越的正常运行时间

l 零件和人工的1年全面保修

l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持（电话、电子邮件、传真）

了解更多产品信息，请联系Helicoater工作人员,400 860 1856。