HC220PE高精度匀胶机，采用高级PLC 模块，工业级伺服电机，全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。

特点：

• 采用高级PLC模块，工业级伺服电机；
• 8英寸彩色触屏控制，人机界面；
• 经CNC一体加工成型的HDPE内腔，耐腐蚀，易清洁，带排废功能；
• 内腔壁采用独特的凹面设计，有效防溅；
• 可编程写和存储100组程序，每组100步；
• 带真空度安全互锁检测功能；带盖子安全互锁检测功能；带排废接口；
• 具有电机进胶保护功能；管路易疏通设计；
• 具有真空不足提示及保护功能，具有断电后参数自动保存功能。
• 正、反转旋涂方向可自由切换；旋涂参数可设置循环执行；速度-时间曲线实时显示；
• 配置四个自动点胶接口，可升级多路自动点胶系统；
• 可设置用户密码保护功能；
• 配置可调基座，方便调节水平；

HDPE耐腐蚀旋涂内腔

更多产品信息，请联系赫里科特（Helicoater）工作人员，400 860 1856

技术参数：

• 适用晶元尺寸范围：Ø5~220mm；
• 旋涂速度：0~10000rpm；
• 转速分辨率：1rpm；
• 旋涂加速度：0-50000rpm/s（空载）；
• 最大旋涂时间：3000s；
• 旋涂时间精度：0.1s；
• 内腔壁采用独特的凹面防溅设计；
• 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序100步；
• 均匀性：<±3%(需去边3mm区域测量)；
• 电源输入：AC200-230V；

更多产品信息，请联系赫里科特（Helicoater）工作人员，400 860 1856

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