选购匀胶机（spin coater）的三要素

匀胶机有很多种称谓，（英文叫Spin Coater或者Spin Processor），又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

针对目前匀胶机市场品牌众多，良莠不齐现象，笔者结合自己多年从事匀胶机技术服务的实际经验。帮助广大用户提高辨别能力，为用户提供了直观明确的选择标准。

从其原理来说，我们可以看出选购匀胶机需要注意的三个要素：

1、旋转速度控制精度

转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。有的品牌的匀胶机仍在采用旋钮或按键的控制方式，操作不便利，精度也很粗糙，无法实现精确控制。某些匀胶机只能提供转速范围，并不能精确标定实时的转速。这也都是不合格的匀胶机。目前也有做的比较好的品牌，比如赫里科特（helicoater）的HC系列匀胶机，淘汰了落后的控制方式，全部采用彩色触摸屏加高级PLC进行程序控制，使用体验非常好。

2、真空吸附系统的构造

首先提供真空的真空泵一定要采用无油真空泵，还要考虑由于误操作导致的意外吸胶，如果气路被胶液堵塞，将损坏设备内的电子器件，堵塞电机轴，而且维修困难，影响设备的正常使用。在防堵胶方面，赫里科特（Helicoater）的做法值得推广，HC系列匀胶机均配置有储液腔，当有胶液意外进入管路，将在储液腔内截留并存储，不会影响管路后续元器件的正常使用，定期清理也很方便。这个特殊的设计非常有用，成为匀胶机设备的一个额外的保险装置。为了防止由于真空度不足，导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，赫里科特（helicoater）全系列匀胶机（HC150，HC160，HC220）均配置有真空安全检测装置和盖子安全互锁装置，确保操作者安全。

3、材质的选择

对于半导体化工行业的应用来说，材质的选择尤为关键，有些低端匀胶机采用的是PP注塑成型的内腔，或者是采用冲压成型的金属盆做为内腔，这些材质对各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，而且这种内腔是呈上口大下口小的锥形，高速旋涂过程中，甩出的溶液与内腔壁碰撞后，会回溅到基片上，造成基片质量下降。造成这种情况的原因是，注塑成型或冲压成型加工方式为了便于脱模，必须加工成上口大下口小的形状，材料成本低，加工成本也低，损害的设备的品质，降低了用户使用体验。在这个细节方面，赫里科特（Helicoater）坚持采用大尺寸耐腐蚀HDPE材料，采用CNC加工中心按照图纸一体化精细加工成型，内腔表面光洁，内腔壁呈凹面结构，上口小，下口大，高速甩出的溶液与内腔壁碰撞后，向下方溅射，有效避免了胶液回溅，对于重视薄膜质量的用户来讲，这将非常关键。