本设备是基于光弹性原理，但在应力信息处理方式上不同于传统的光弹性方法，主要体现在以下几个方面：

• 高效性：

本系统采用像素偏振相机记录光弹图像，实现了动态相移，可实时显示定量测试结果(应力双折射场和主应力方向场）。可用于器件生产过程中的在线测量。

• 便利性：

只需把试件放在测试平台上，不需要转动试件和任何光学元件，即可通过软件在数秒内获取试件各应力分量的信息(市面上尚未见到其它具有类似功能的在售设备)。

• 高灵敏度

比起传统的光弹测试方法，本系统对应力变化的灵敏度提高了一倍。

• 更好的客观性

在相同的相机参数和软件参数设置下，不会出现传统测试中因人而异的测试结果。

• 更完善的软件操作

除了试件识别环节，其它所有操作都有经过优化的缺省值，用户直接点击“下一步”即可；获得各应力分量场后，用户还可以查看任一横、纵截面上的应力分布曲线。

应用领域

透明的玻璃/石英器件、注塑器件、手机膜、SiC晶圆等试件内部残余应力的测试。

主要技术指标

  • 图像分辨率：

    1024×1048像素。

  •测试面积（即光源尺寸）：

    标准型：最大0.5m见方；定制型：最大1.5m见方；

  •双折射量程

    基本型: 158nm;  增强型：1890nm。

  •分辨率与精度(以0.8mm厚的钙钠玻璃为例)：

    应力分辨率：0.2MPa, 应力测试精度：1.0MPa。

    双折射分辨率：0.1nm, 精度：1.0nm.

系统配置

    • 主测试系统一套:包括光学平台、手动升降立柱、相机一台（含定焦和3X变焦镜头各1个）；

    • 高配电脑一台（含软件一套）。

设备图片：

残余应力快速自动测试系统