京公网安备11011402012510号 服务热线
400 8816 976
产品详细
Apogee200匀胶显影机
名称：清洗显影机
型号：Developer200
品牌：Helicoater
产地：美国
参考价格：
应用：集成匀胶、清洗、显影功能
产品资料及报价，请拨打24h热线：13521278201（微信同号），您将得到及时回复。
400 8816 976
累积关注：2832 次
Apogee200匀胶显影机是在高精度Apogee匀胶机的基础上，增加清洗、显影、吹气等功能，同时保持对深入过程数据和配方创建方法的访问。
产品特点：
l 紧凑的设计，最大限度地减少占地面积
l 全彩色7英寸触摸屏显示屏
l 高密度聚乙烯（HDPE）旋转碗，实现最大的化学兼容性
l 耐用的工作台设计，也可采用法兰/甲板安装配置
l DataStream™ 技术
l 90°直角连续喷嘴或45°侧角喷嘴
l 扩展开发能力
内腔设计：
l 高密度聚乙烯（HDPE）旋转碗
l 可选氮气吹扫，以实现更高效的干燥
l 集成排放口和排气口
技术参数：
l 触摸屏界面和显示器
l 支持全彩色字母数字的图形用户界面（GUI）
l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限
l 步进时间的分辨率为0.1秒（最大步进时间为9999.9秒）
l 旋转速度：12000 rpm
l 旋转速度加速：
n 0至30000 rpm/s卸载
n 0至23000 rpm/s，200 mm基板
n 0至3000 rpm/s，6英寸×6英寸×0.250英寸光罩凹形卡盘
l 连接：USB/以太网端口，用于通过数据流上传/下载过程参数™ 技术
l 同步、自动化、多配送能力
设备精度：
l 转速重复性：<0.2 rpm
l 转速分辨率：<0.2 rpm
l 基底尺寸：圆形小于1厘米至200毫米；7英寸x 7英寸正方形
可靠性
l 间接驱动系统保护旋转电机不接触工艺化学品和溶剂
l 真空和盖联锁
l 业界领先的可靠性和正常运行时间
l 零件和人工的1年全面保修
l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持（电话、电子邮件、传真）
l 产品生命周期的应用过程协助
了解更多产品资料，请联系Helicoater 工作人员,400 860 1856。
接口：
l 电压范围：100-125、208-240 VAC、50/60 Hz
l 功率要求：655瓦
l 排水口：外径¾”
l 排气口：外径1英寸
l 真空度：20“Hg
l 排气：0.2“水下20至50 cfm
l 氮气或CDA（用于自动分配）：70 psi
尺寸：
l 13.25英寸（33.65厘米）宽×21英寸（48.26厘米）深×16英寸（30.48厘米）高
l 机器重量：40磅（18.14千克）
l 装运重量：130磅（45.36千克）
l 开发人员选项
l 最大限度地减少材料使用
l 使用1加仑压力罐作为显影剂溶液
l 最多可使用四个喷嘴或四个流喷嘴
喷雾器
l 利用喷嘴喷洒显影剂溶液或去离子水
l 有两种选择：
n 45°侧角喷雾，安装在晶圆周长外部的喷嘴朝晶圆中心喷射
n 90°直角喷雾，喷嘴直接安装在基材上，用于连续喷雾
l 水流分配（水坑）
l 通过将显影剂和去离子水“流动”到基底顶部，就像标准旋涂工艺一样
l 去离子水冲洗
l 可选择上部和后部去离子水冲洗
l 与压力罐分配器或室内去离子水供水系统一起使用
了解更多产品资料，请联系Helicoater 工作人员,400 860 1856。
产品询价与定购