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Apogee™精密匀胶机以高效、节省空间的设计提供稳定的质量性能、丰富的接口功能和强大的化学兼容性。大尺寸匀胶机结合了极其精确的旋涂速度控制和高扭矩驱动,实现了强劲的加速度。适用于300毫米及更大晶圆和14英寸×14英寸的LCD正方形样品。
产品特点:
l 紧凑的设计,最大限度地减少占地面积
l 全彩色7英寸触摸屏显示屏
l 高功率间接电机驱动系统
l 增强的盖提升辅助功能(气弹簧打开≥ 45°)
l 耐用的工作台设计,也可采用法兰/甲板安装配置
l DataStream™技术
l 可选X-PRO工作站集成独立机柜
l 带有上部排气罩,用于工艺烟气控制。
耐腐蚀内腔:
l 高密度聚乙烯(HDPE)旋转碗
l 多功能盖子设计,可实现工艺灵活性和可重复性
l 惰性旋转环境的可选氮气吹扫
l 集成排放口和排气口
技术参数:
l 触摸屏界面和显示器
l 支持全彩色字母数字的图形用户界面(GUI)
l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限
l 步进时间的分辨率为0.1秒(最大步进时间为9999.9秒)
l 旋转速度:6000 rpm
l 旋转速度加速度:
n 0~30000 rpm/s空载;
n 0~23000 rpm/s,使用300 mm基板;
n 0~3000 rpm/s,使用350 mm x 6 mm圆形嵌入式旋转卡盘;-0至400 rpm/s,使用嵌入式卡盘中的14”×14”×1.1 mm光罩
l 连接:用于通信的USB/以太网端口
l 用于使用DataStream™上载/下载过程参数技术
l 同步、自动化、多点分发功能
精确:
l 转速重复性:<0.2 rpm
l 转速分辨率:<0.2 rpm
l 基底尺寸:圆形小于1厘米至450毫米;14英寸x 14英寸正方形
可靠性:
l 间接驱动系统保护旋转电机不接触工艺化学品和溶剂
l 真空和盖联锁
l 业界领先的可靠性和正常运行时间
l 零件和人工的1年全面保修
l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持(电话、电子邮件)
l 产品生命周期的应用过程协助
了解更多产品资料,请联系Helicoater工作人员, 400 860 1856.
外部接口:
l 电压范围:208-240 VAC,单相,50/60 Hz
l 功率要求:1440瓦(6A)
l 排水口:外径3/4英寸
l 排气口:外径1.5英寸,在0.2英寸水(0.6-1.4立方米/分钟)下为20至50立方英尺/分
l 真空度:>20“Hg(<33 kPa abs)
l 氮气或CDA(用于自动分配):70 psi(482 kPa)
尺寸
l 27-5/8英寸(70.2厘米)宽×30-3/4英寸(78.2厘米)深×15-1/2英寸(39.4厘米)高*
l 机器重量:115磅(52.2千克)
l 装运重量:250磅(113.4千克)
l *高是盖上盖子的。盖子打开时,高为30-1/4英寸(76.9厘米)
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